破坏性检测
破坏性检测通过解构样品获取深层信息,北软检测提供芯片开封(Decap)、切割、染色等全套破坏性方案,采用自动混酸开封系统(酸温控制±2℃)和激光烧蚀技术,保障超薄芯片(<50μm)的截面完整性,用于专利侵权鉴定与工艺对标。
·适用场景或对象:
- ——芯片专利解剖验证
- ——封装键合线强度测试(推拉力)
- ——失效点的截面结构分析
·检测流程:
- 1.开封处理:激光/Laser Decap去除封装胶
- 2.样品固定:环氧树脂镶嵌
- 3.精密切割:金刚石线锯定向切片
- 4.染色增强:化学染色凸显金属层
- 5.结构还原:逐层抛光+FIB电路提取
·服务设备:
- —— 开封系统:自动混酸开封机(SESAME 707)、激光烧蚀仪
- —— 制样设备:离子研磨仪(CP)、精密切割机
- —— 物性测试:推拉力测试机(键合强度)、硬度计
- —— 环境模拟:高温离子刻蚀机(RIE)
·典型设备或结果照片:

·联系人:
赵老师
·联系方式:
010-82825511-869

